與中科院微電子所頗有淵源，市值逾 200 億元。

作者 | ZeR0

編輯 | 漠影

芯東西 5 月 19 日報道，今日，深圳高端半導體質量控制設備公司中科飛測成功登陸科創板。

(資料圖片僅供參考)

中科飛測的發行價為 23.60 元 / 股，發行市盈率為 14.83 倍。今日上市后，其股價開盤上漲 179.66% 至 66.00 元 / 股，最高上漲 203.64% 至 71.66 元 / 股。截至 10 點 05 分，其股價為 66.06 元 / 股，漲幅為 179.92%，市值逾 210 億元。

其有限公司成立于 2014 年 12 月，股份公司成立于 2020 年 12 月。中科飛測始終專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發、生產和銷售。其產品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設備系列、圖形晶圓缺陷檢測設備系列、三維形貌量測設備系列、薄膜膜厚量測設備系列等，已應用于國內28nm 及以上制程的集成電路制造產線。該公司主要根據銷售訂單及銷售預測進行生產，并主要通過直銷模式進行產品和服務銷售，主要產品已廣泛應用在中芯國際、長江存儲、士蘭集科、長電科技、華天科技、通富微電等國內主流集成電路制造產線，打破在質量控制設備領域國際設備廠商對國內市場的長期壟斷局面。

蘇州翌流明是中科飛測的控股股東，中科院微電子所、華為哈勃投資均在其股東之列。中科飛測的實際控制人 CHEN LU（陳魯）、哈承姝為夫妻關系。包括 CHEN LU（陳魯）在內的 3 名中科飛測核心技術人員都曾在中科院微電子所任職。

本次 IPO，中科飛測擬募資 10 億元，投入高端半導體質量控制設備產業化項目、研發中心升級建設項目、補充流動資金。

01.

檢測 & 量測：

保證芯片生產良品率非常關鍵

質量控制設備是芯片制造的核心設備之一。質量控制貫穿集成電路制造全過程，是保證芯片生產良品率非常關鍵的環節。

集成電路質量控制包括前道檢測、中道檢測和后道測試，國內多家公司涉及后道測試，涉及前道檢測和中道檢測的相對較少。中科飛測主要向集成電路前道制程、先進封裝等企業以及相關設備、材料廠商提供關鍵質量控制設備。

其檢測和量測設備能夠對上述企業的生產過程進行全面質量控制和工藝檢測，助推客戶提升工藝技術、提高良品率、實現降本增效的目標。

▲中科飛測主要產品演變和技術發展的情況

目前，我國半導體檢測與量測設備市場中國產化率較低，科磊半導體、應用材料、日立作為中國市場前三大企業，合計市場份額占比超過 70%。中科飛測及國內主要競爭對手占國內市場的份額整體較小，但呈現快速增長趨勢。

▲ 2016-2020 年全球和中國大陸半導體（檢測和量測）設備市場情況

2016 年至 2020 年，全球和中國大陸地區半導體設備和檢測與量測設備市場處于快速發展期，中國大陸地區半導體設備市場和檢測與量測市場增長顯著高于全球市場增長。

中科飛測國內競爭對手主要為上海睿勵和上海精測。鑒于目前無公開統計國內企業的市場占有率情況，故無法直接獲取中科飛測及相關競爭對手市場占有率情況。下文以銷售收入占市場規模比例的方式對國內企業市場占有率進行模擬測算，中科飛測市場占有率增長較快，由 2018 年的 0.35% 增長至 2020 年的 1.74%，在中國大陸半導體檢測和量測設備市場具有相對競爭優勢。

02.

三年半收入 7.76 億元

2019 年、2020 年、2021 年、2022 年 1~6 月，中科飛測營收分別為 0.56 億元、2.38 億元、3.61 億元、1.21 億元；凈利潤分別為 -0.97 億元、0.40 億元、0.53 億元、-0.32 億元。

▲ 2019 年至 2022 年上半年中科飛測營收、凈利潤、研發費用變化（單位：億元，芯東西制表）

同期研發投入占營收的比例分別為 100.01%、19.43%、26.36%、72.28%。

▲ 2019 年至 2022 年上半年中科飛測主營業務收入分布變化（芯東西制表）

分設備類型來看，檢測設備的收入占比逐年上升，量測設備的收入占比從近四成降至兩成。檢測設備的毛利率高于量測設備。

其各產品的產量和銷量情況如下：報告期內，中科飛測與可比公司的綜合毛利率對比情況如下：2019 年，中科飛測銷售的設備以基礎型號為主，且尚處于發展初期、經營規模較小，毛利率整體低于同行業平均水平。隨著其升級型號設備的不斷推出、經營規模逐步擴大，2020 年度其毛利率達到同行業平均水平，2021 年度及 2022 年 1~6 月毛利率較高的檢測設備為主，毛利率繼續上升。

報告期內，同行業可比公司（剔除華峰測控后）綜合毛利率平均值總體呈現上升趨勢，中科飛測綜合毛利率變動趨勢與可比公司基本一致。報告期各期末，其存貨賬面價值分別為 0.79 億元、1.79 億元、5.39 億元、8.29 億元，存貨規模較大。

03.

對應 1Xnm 產線的設備正在研發

對應 2Xnm 以下產線的設備正在驗證

截至 2022 年 6 月 30 日，中科飛測共有 676 名員工，其中研發人員共 298 人，占比為 44.08%。

該公司承擔了多項國家級、省級和市級科研項目，并獲得一定規模的政府補助，各期政府補助確認的其他收益金額分別為 0.23 億元、0.38 億元、0.48 億元、0.41 億元。

技術水平方面，根據國內競爭對手公司官網及公開披露信息，上海睿勵自主研發的 12 英寸光學測量設備 TFX3000 系列產品，正在 14nm 芯片生產線進行驗證，尚未披露設備完成驗收信息；上海精測推出的首款半導體電子束檢測設備正在進行 1Xnm 驗證，尚未披露設備完成驗收信息。

中科飛測已有多臺設備在 28nm 產線通過驗收，另有對應 1Xnm 產線的 SPRUCE-900 型號設備正在研發中，對應 2Xnm 以下產線的 DRAGONBLOOD-600 型號設備正在產線進行驗證，并已取得兩家客戶的訂單。

綜上，中科飛測業務規模高于其他國內競爭對手，技術研發均向 2Xnm 以下節點推進，處于國內領先地位。

其部分員工曾于中科院微電子所與中科飛測處雙邊任職。報告期內，中科飛測存在與中科院微電子所合作研發、與中科院微電子所等其他單位分別共同申報科研課題項目的情況。

04.

產品落地中芯國際、士蘭集科、長電

科技、華天科技、長江存儲、藍思科技

半導體檢測與量測設備市場部分客戶存在招投標的情況，相關招投標結果在一定程度上可以反映公司的領先優勢和市場占有率情況。

根據光大證券發布的研究報告《國內半導體設備招投標月度數據跟蹤第 7 期（2022 年 01 月）》及公開招投標信息整理，2021 年度國內主流廠商公開招標前道檢測及量測設備 185 臺，其中中科飛測中標設備 14 臺，其國內主要競爭對手中標設備 1 臺，中科飛測處于國內同行業企業領先地位，具體情況如下表所示：

中科飛測的客戶主要為集成電路前道制程、先進封裝等領域知名企業。其檢測設備的主要代表客戶有中芯國際、士蘭集科、長電科技、華天科技，量測設備的主要代表客戶有長江存儲、長電科技、華天科技、藍思科技。

報告期內，中芯國際一直是中科飛測的前五大客戶之一，中科飛測向前五大客戶合計銷售金額占當期銷售總額的比例分別為 72.72%、51.21%、44.32%、65.06%，不存在向單個客戶的銷售比例超過公司當年銷售總額的 50% 或嚴重依賴于少數客戶的情形。

2022 年 1-6 月，中科飛測前五大客戶中華海清科為公司董事劉臻擔任監事的企業，非中科飛測關聯方。除此之外，中科飛測、中科飛測董事、監事、高級管理人員或持有中科飛測 5% 以上股份的股東與前五大客戶之間不存在關聯關系。

報告期內，中科飛測向前五大供應商合計采購金額占當期采購總額的比例分別為 35.69%、41.07%、37.08%、38.26%，不存在向單個供應商的采購比例超過公司當年采購總額 50% 或嚴重依賴于少數供應商的情形。

中科飛測、中科飛測董事、監事、高級管理人員或持有中科飛測 5% 以上股份的股東與報告期內的前五大供應商之間不存在關聯關系。

中科飛測所需原材料主要為運動與控制系統類、光學類等零部件，已與樂孜公司、華卓精科等行業內知名企業建立了穩定的供應合作關系。其核心零部件的供應商主要為有產品優勢的知名企業，其中 EFEM 和機械手主要來源于境外采購。

中科飛測相關核心零部件不存在單一依賴。報告期內，其采購材料金額分別為 0.70 億元、2.17 億元、5.18 億元、3.42 億元，采購規模總體呈現增長的態勢；其中采購 EFEM 和機械手的金額分別為 0.17 億元、0.42 億元、0.88 億元、0.63 億元，占采購總額的比例分別為 23.76%、19.40%、17.09%、18.29%。

05.

蘇州翌流明為控股股東

中科院微電子所、華為哈勃參投

截至招股書簽署日，蘇州翌流明直接持有中科飛測 15.75% 的股份，通過小納光間接控制中科飛測 7.86% 的股份，合計控制中科飛測股份總數的 23.61%，為中科飛測控股股東。小納光為中科飛測員工持股平臺。

中科飛測的國有股東包括中科院微電子所和深創投，其中中科院微電子所是其第八大股東，持股 4.84%；華為旗下投資公司哈勃投資是其第十二大股東，持股 3.30%。

CHEN LU（陳魯）、哈承姝夫婦直接和間接合計持股 30.54% 股份，為中科飛測實際控制人。同時 CHEN LU（陳魯）、哈承姝為中科飛測董事會或管理層核心成員。中科飛測董事陳克復是與 CHEN LU（陳魯）是父子關系。

CHEN LU（陳魯）出生于 1977 年，美國國籍，本科畢業于中國科學技術大學少年班物理學專業，博士畢業于美國布朗大學物理學專業，在 2010 年 3 月至 2016 年 8 月期間曾任中科院微電子所研究員、博士生導師，現為中科飛測董事長。

哈承姝也出生于 1977 年，中國國籍，擁有香港永久居留權，碩士畢業于耶魯大學國際和發展經濟學專業，博士畢業于美國華盛頓大學職業法律專業，現為中科飛測董事兼總經理。

目前中科飛測有 3 名核心技術人員，分別是董事長 CHEN LU（陳魯）、首席科學家黃有為、首席科學家楊樂。2012 年至 2016 年期間，三人均曾在中科院微電子所任職。

該公司現任董事、監事、高級管理人員及核心技術人員最近一年從中科飛測及關聯企業領取薪酬的情況如下：

06.

結語：半導體檢測與量測設備

國產化率有望加速提升

當前主流半導體制程正從 28nm、14nm 向 10nm、7nm 發展，部分先進芯片制造商已實現 5nm 量產并開始 3nm 的研發，三維 FinFET 晶體管、3D NAND 等新技術逐漸成業內主流技術。隨著工藝不斷進步，產品制程步驟越來越多，微觀結構逐漸復雜，生產成本呈指數級提升。

為了獲取盡量高的晶圓良品率，必須嚴格控制晶圓之間、同一晶圓上的工藝一致性，因此對集成電路生產過程中的質量控制需求將越來越大。未來檢測和量測設備需在靈敏度、準確性、穩定性、吞吐量等指標上進一步提升，保證每道工藝均落在容許的工藝窗口內，保證整條生產線平穩連續的運行。

目前國內半導體市場處于高速增長期，本土企業存在較大的國產化空間。在我國半導體量測檢測設備國產化率相對較低的情況下，中科飛測作為國內半導體設備行業領軍企業之一，在中國大陸半導體檢測和量測設備市場具有相對競爭優勢。

在國產化需求緊迫、研發投入持續提升的大環境下，近年來國內企業在檢測與量測領域突破較多，受益于國內半導體產業鏈的迅速發展，該領域國產化率有望在未來幾年加速提升。

芯圈 IPO

深度追蹤國內半導體企業 IPO；在國產替代的東風下，一批優秀的國內半導體公司正奔赴資本市場借勢發展。

作 者

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