國產(chǎn)半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)商中微公司創(chuàng)始人、董事長兼 CEO 尹志堯

隨著美國政府不斷升級芯片出口管制措施，國內(nèi)芯片設(shè)備廠商開始評估制程差距和全球半導(dǎo)體行業(yè)風(fēng)險。

鈦媒體 App 獲悉，8 月 10 日無錫舉行的 2023 年中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會半導(dǎo)體設(shè)備年會開幕式上，芯片設(shè)備企業(yè)中微半導(dǎo)體公司（AMEC）創(chuàng)始人、董事長兼 CEO 尹志堯表示，自 2019 年至今，美國政府已發(fā)布 15 輪半導(dǎo)體限制政策，其目的就是要遏制中國芯片行業(yè)發(fā)展，包括 14nm 在內(nèi)，讓中國芯片制程比海外差距至少五代。

(資料圖片)

" 去年 10 月 7 號以前，他們（美國）打的旗號是不允許中國的集成電路給伊朗等國提供技術(shù)解決方案，但是 10 月 7 日以后，美國真正目的暴露了，它就是要限制我們（中國）集成電路和國外有至少 5 代的差距。過去是兩代，現(xiàn)在五代的差距。從 3nm 往回推到 14nm，只允許我們做 28nm。" 尹志堯強(qiáng)調(diào)，這樣的情況中國是不能接受的。據(jù)悉，14nm FinFET 于 2015 年初量產(chǎn)，所以這意味著 14nm 到 3nm，中國在芯片制程上滯后超過 9 年。

尹志堯還表示，2023 年芯片制造廠投資中，美國、日本和荷蘭的半導(dǎo)體設(shè)備占國內(nèi)設(shè)備采購的 85% 左右，國產(chǎn)設(shè)備只占 10%-18%。而中國留學(xué)生在美國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展中起到關(guān)鍵作用。如今，中國留學(xué)生回到國內(nèi)發(fā)展芯片產(chǎn)業(yè)，但國內(nèi)芯片企業(yè)卻出現(xiàn)部分惡性競爭和 " 內(nèi)卷 " 行為，包括不斷降低價格、盜取知識產(chǎn)權(quán)、高薪挖人等，尹志堯建議政府和行業(yè)應(yīng)制定公平競爭法則和規(guī)范，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。

這是尹志堯罕見公開談及美國限制措施對國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)制程落后的現(xiàn)狀。

據(jù)悉，中微公司成立于 2004 年，是中國最大的國產(chǎn)半導(dǎo)體等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備供應(yīng)商，總部位于上海，在新加坡、日本東京等 15 個區(qū)域擁有辦公室和 6 個境外子公司，員工共超過 1500 人，其設(shè)備可用于加工微米級和納米級的各種器件，從而為集成電路和泛半導(dǎo)體行業(yè)提供高端設(shè)備和服務(wù)。

中微提供的等離子體刻蝕設(shè)備，是芯片制造中光刻環(huán)節(jié)的關(guān)鍵組件。首先，使用掩模（光罩）將預(yù)定圖案投射到涂有光刻膠的晶圓（例如硅片）上。接著，光刻機(jī)照射晶圓，使其被照射部分發(fā)生化學(xué)變化。在這之后，依據(jù)光刻形成的圖案，刻蝕設(shè)備采用化學(xué)或物理方法，精確地去除硅片上暴露的部分，而由光刻膠覆蓋的區(qū)域保持不變。這樣，晶圓上的電路結(jié)構(gòu)便得以形成。

而且，刻蝕和化學(xué)薄膜也能夠彌補(bǔ)光刻機(jī)的不足，因?yàn)楣饪虣C(jī)只能做到 14nm，那么 7nm、5nm 是通過二重模板、四重模板方法，需要用到刻蝕、化學(xué)薄膜等設(shè)備，使光刻尺度減少至 25%-50%，從而形成更先進(jìn)的 5nm 芯片。

簡而言之，晶圓光刻為刻蝕提供 " 模板 " 或 " 指南 "，而刻蝕則執(zhí)行這個 " 指南 "，在材料中創(chuàng)建實(shí)際的芯片結(jié)構(gòu)。目前，中微 CCP 刻蝕機(jī)可覆蓋 65nm 到 5nm 及更先進(jìn)制程的邏輯芯片，其 ICP 刻蝕機(jī)則涵蓋 14nm 到 5nm 制程。

2022 年，全球刻蝕設(shè)備市場高達(dá) 1550 億元，而中微占據(jù)全球刻蝕設(shè)備市場前四位，其他三家是美國泛林（Lam Research）、日本東京電子（Tokyo Electron）和美國應(yīng)用材料（Applied Materials），四家共占全球干法刻蝕機(jī)市場 90% 以上份額。

中微公司董事長兼 CEO 尹志堯?yàn)槊绹鴩厴I(yè)于中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)化學(xué)物理系，獲北京大學(xué)化學(xué)學(xué)院碩士、美國加州大學(xué)洛杉磯分校物理化學(xué)博士學(xué)位，曾擔(dān)任硅谷的英特爾中心技術(shù)開發(fā)部工藝工程師，泛林半導(dǎo)體研發(fā)部資深工程師、研發(fā)部資深經(jīng)理，應(yīng)用材料等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品總部 CEO、總公司副總裁及等離子體刻蝕事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲總部 CTO，2014 年回國成立中微公司。此外，2019 年 3 月起尹志堯還擔(dān)任瀾起科技獨(dú)立董事。

2019 年 7 月，中微公司（688012.SH）在科創(chuàng)板掛牌上市，成為科創(chuàng)板首批上市公司之一。

值得注意的是，2021 年 1 月，美國政府將中微公司、小米等 9 家中國企業(yè)列入所謂 " 與中國軍方相關(guān) " 的實(shí)體名單中，這些公司受到美國新的投資禁令限制，四個月后該名單刪掉了中微公司。尹志堯表示，"（美國列入黑名單）這是無稽之談。經(jīng)過 4 個月的嚴(yán)正交涉，他們勉強(qiáng)把我們拉下來了。"

去年 10 月 7 日，美國商務(wù)部工業(yè)和安全局（BIS）發(fā)布多項(xiàng)半導(dǎo)體出口管制新規(guī)，其中規(guī)定美國供應(yīng)商若向中國本土芯片制造商出售尖端生產(chǎn)設(shè)備，包括 16nm 或 14nm 及以下邏輯芯片、半間距不超過 18nm 的 DRAM 芯片、128 層或以上的 NAND 閃存芯片，必須申請?jiān)S可證并將受到嚴(yán)格審查。而且 BIS 稱，在中國境內(nèi)，原則上禁止 " 美國人 " 在先進(jìn)制程芯片制造廠支持芯片的開發(fā)或生產(chǎn)，先進(jìn)制程對標(biāo)前述三條線。因此，美籍華人尹志堯是否繼續(xù)參與中微曾引發(fā)一段爭議，今年 7 月中微公司在上交所投資平臺回復(fù)稱，尹志堯目前正常履職。

此次半導(dǎo)體設(shè)備年會上，尹志堯以《集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的現(xiàn)狀和挑戰(zhàn)，人類第三次工業(yè)革命的到來》為題發(fā)表演講，主要包含三部分：一是談及嚴(yán)峻的國際形勢和國內(nèi)發(fā)展的挑戰(zhàn)；二是介紹中微公司發(fā)展?fàn)顩r；三是探討關(guān)于人類工業(yè)革命的斷代問題。

首先在國際形勢方面，尹志堯表示，目前，美國、日本和荷蘭的半導(dǎo)體設(shè)備占國內(nèi)設(shè)備采購的 85% 左右，而國產(chǎn)設(shè)備只占 10%-18%。因此，最新美國聯(lián)合日本和荷蘭限制中國芯片產(chǎn)業(yè)，真正目的就是限制國內(nèi)芯片設(shè)備。而它是支撐 6000 億美元的半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)和制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵動力，更深層次是當(dāng)前工業(yè)革命的基礎(chǔ)是微觀加工能力。

尹志堯稱，最新的行政命令——針對美國對中國半導(dǎo)體、人工智能和量子技術(shù)的投資限制，是美國對集成電路產(chǎn)業(yè)遏制的 " 第 16 招 "。

尹志堯認(rèn)為，除了光刻機(jī)之外，全球幾乎 70%-80% 的半導(dǎo)體設(shè)備都是由美國成功研發(fā)出來的，與此同時，刻蝕機(jī)、光學(xué)檢測等 11 類美國半導(dǎo)體設(shè)備中，都是由中國留學(xué)生領(lǐng)街或作為主要技術(shù)骨骨干開發(fā)、參與的。如果沒有中國留學(xué)生的貢獻(xiàn)，美國就沒有現(xiàn)在的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)。

" 所以現(xiàn)在美國政府想用設(shè)備來卡中國，一是完全沒有道理的，二是也是沒有任何好的結(jié)果，因?yàn)榇蟛糠值念I(lǐng)軍人物都已經(jīng)回國，在很多公司里都是骨干和領(lǐng)導(dǎo)，所以我們有充分的信心，數(shù)年后我們一個會開發(fā)出國際競爭力的設(shè)備產(chǎn)業(yè)。" 尹志堯表示。

他提到，現(xiàn)在一條大規(guī)模的 12 英寸生產(chǎn)線需要投入 100 億美元，當(dāng)中 70%（70 億）是用于購買芯片設(shè)備。而設(shè)備中包含十大類、170 多種、3000 多臺細(xì)分設(shè)備。這就意味著從成本來看，半導(dǎo)體設(shè)備值得重視，尤其這一市場還是被海外廠商把持的時候，發(fā)展中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)就顯得更為重要。

國內(nèi)發(fā)展挑戰(zhàn)方面，尹志堯稱，目前國內(nèi)芯片和設(shè)備產(chǎn)業(yè)出現(xiàn) " 惡性競爭 " 的內(nèi)卷問題：用各種方式，非法獲得競爭者的商業(yè)機(jī)密，用反向解剖抄襲競爭者的產(chǎn)品設(shè)計(jì)，復(fù)制別人的產(chǎn)品；企業(yè)既制造芯片，又開發(fā)設(shè)備，抄襲仿制供應(yīng)商提供的設(shè)備；用 50%，以致 100% 的高薪，挖別的公司的人才，攪亂人才市場；不是靠產(chǎn)品的技術(shù)的先進(jìn)和性能優(yōu)越，而是靠降低價格，不惜虧本的惡性競爭；為財務(wù)回報和政績，私募資金和城投基金盲目重復(fù)的投資，造成內(nèi)卷和低成功率；離開公司時帶走公司技術(shù)資料和商業(yè)機(jī)密，開發(fā)和原所在公司相同的技術(shù)和同類設(shè)備等。

尹志堯認(rèn)為，高科技領(lǐng)域的競爭是一個正常的現(xiàn)象，是推動科技發(fā)展的動力，但這種競爭必須是公平、合理、有序的，而惡性的競爭就是 " 內(nèi)卷 "，這種 " 內(nèi)卷 " 是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的 " 絆腳石 "。

他呼吁，政府和行業(yè)應(yīng)該制定一些公平競爭的法則和規(guī)范，降低內(nèi)卷，防止惡性競爭。" 現(xiàn)在中國要想把國內(nèi)芯片設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展起來，一定要合起來干，能夠互相配合，而不是惡性競爭。"

截至目前，中國半導(dǎo)體設(shè)備及零部件企業(yè)數(shù)量已超過 200 家。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2022 年，77 家規(guī)模以上的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)收入累計(jì)達(dá) 593 億元，同比增長 53.6%，其中前十大企業(yè)營收占總收入的 73.9%。

盡管表面看來，國內(nèi)芯片設(shè)備發(fā)展良好，但此次會議期間多位行業(yè)人士表示，中國半導(dǎo)體設(shè)備公司在市場份額和技術(shù)成熟度方面仍落后于 ASML、泛林、科磊等全球同行，尤其在光刻機(jī)、化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備、離子注入機(jī)等設(shè)備領(lǐng)域國產(chǎn)化率低于 10%，幾乎沒有全球影響力，部分零部件也需國外采購。除了設(shè)備，光刻膠、掩模版等芯片材料的國產(chǎn)化率低于 10%，在芯片產(chǎn)業(yè)逆全球化的當(dāng)下，中國 " 小而散 " 現(xiàn)象使部分國產(chǎn)芯片設(shè)備、材料無法滿足芯片制造廠的核心需求，短期內(nèi) " 國產(chǎn)替代 " 難以為繼。

其次，談及中微公司發(fā)展現(xiàn)狀，尹志堯表示，2022 年公司營收為 47.40 億元，同比增長 52.5%，此前 2021 年增長 36.7%；扣非歸母凈利潤 9.19 億元，同比增長 183.44%。自 2012 年到現(xiàn)在的 11 年間，中微公司保持 30% 增速。截至 2022 年底，中微共有超過 3311 個反應(yīng)臺，在 86 家客戶 106 條生產(chǎn)線全面量產(chǎn)，累計(jì)裝機(jī)臺數(shù)每年增長率超過 35%。

而今年，盡管整個國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場降幅超 30%，但今年上半年中微營收同比增長 28%，利潤增長超 100%。

最后談到人類工業(yè)革命的斷代問題，尹志堯認(rèn)為，目前人類已經(jīng)歷蒸汽機(jī)、電氣機(jī)和數(shù)碼信息時代。而如今，第三代工業(yè)革命已經(jīng)悄悄到來，尹志堯定義為超人時代（Superman Age）。他指出，這場新的工業(yè)革命會給人類生產(chǎn)和生活方式帶來更深刻的改變，從智能化變成超人化的過程，包括原生人的改進(jìn)、超智能的機(jī)械人、生物工程造出人的器官和整體人等技術(shù)路線。

" 集成電路與生物醫(yī)藥結(jié)合可能會促進(jìn)第三次工業(yè)革命發(fā)展。" 尹志堯在結(jié)尾提到人體科學(xué)問題，他十分看好腦機(jī)接口技術(shù)對于未來微觀加工產(chǎn)業(yè)發(fā)展。（本文首發(fā)鈦媒體 App，作者｜林志佳）